1. پیشینه پروژه

تجهیزات پاکسازی مرطوب یک ابزار حیاتی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی و دقیق استفاده می شود.عملکرد اصلی آن حذف فیلم های نازک یا لایه های پوشیده از زیربناها از طریق محلول های شیمیایی کنترل شده و مدیریت دمای استاین سیستم ها به طور گسترده ای در میکروالکترونیک، اجزای نوری، صفحه نمایش انعطاف پذیر و سایر صنایع با دقت بالا مورد استفاده قرار می گیرند، که در آن سازگاری و ثبات فرآیند ضروری است.

یک سیستم جداسازی مرطوب شامل یک ماژول گردش شیمیایی، سیستم کنترل دمای دقیق، سیستم تحویل محلول و یک پلت فرم اتوماسیون قابل برنامه ریزی است.چون کیفیت جدا کردن بسیار حساس به پارامترهای فرآیند است، تجهیزات باید کنترل دقیق سطح مایع، دمای، سرعت جریان و ثبات شیمیایی را حفظ کنند تا نتایج یکنواخت از بین بردن را در حالی که آسیب زیربنایی را کاهش می دهد، تضمین کنند.

این پروژه بر ارائه یک راه حل اتوماسیون پایدار، دقیق و با کارایی بالا برای یک خط تولید لیسیدن خیس نیمه هادی تمرکز دارد، بهبود خروجی و کیفیت محصول.

2خلاصه ی راه حل

• کنترل کننده اصلی:کنترل کننده ی Keyence

• روش قابل استفاده:لیتوگرافی پیش بینی

• پیکربندی I/O:حدود 100 نقطه I/O دیجیتال

• حجم سالیانه استقرار:80 واحد

3اجرای فنی

تجهیزات پاکسازی مرطوب یک PLC Keyence را در ترکیب با ماژول های I / O سری RS اتخاذ می کند و یک سیستم کنترل اتوماسیون کامل و قابل اعتماد را برای اجرای دقیق فرآیند طراحی می کند.

1. جمع آوری ورودی چند سنسور

ماژول I/O سیگنال های اساسی فرآیند را از سنسورهای مختلف جمع آوری می کند، از جمله:

• سنسورهای سطح مایع

• سنسورهای دمایی

• سنسورهای جریان

• سنسورهای وضعیت گردش مواد شیمیایی

این سیگنال ها نظارت دقیق بر عرضه مواد شیمیایی، ثبات دمای و ثبات فرآیند را در طول چرخه جداسازی تضمین می کنند.

2کنترل دقیق اکتور

از طریق پردازش منطقی با سرعت بالا، PLC ماژول های I / O را کنترل می کند و اقدامات هماهنگ مانند:

• تنظیمات گرمایش شیمیایی

• تزریق دقیق محلول

• تمیز کردن و تغییر گردش

• کنترل شیر

• حفاظت از ایمنی و قفل شدن

این امر تضمین می کند که کل توالی جدا کردن به آرامی، به طور موثر و ایمن انجام شود.

3. بهبود انسجام فرآیند

اتوماسیون خطای انسانی را به حداقل می رساند و قابلیت ردیابی داده ها را افزایش می دهد. منطق کنترل یکپارچه عملکرد جداسازی تکراری را تضمین می کند و در نهایت عملکرد را در سراسر فرآیند نیمه هادی بهبود می بخشد.

4مزیت های راه حل

طراحی کامپکت و سبک

ساختار ماژولار اجازه می دهد تا یکپارچه سازی در خطوط پردازش مرطوب در مقیاس بزرگ، کاهش فضای نصب و افزایش انعطاف پذیری.

نصب و نگهداری آسان

معماری I / O پلگ و پلی پیچیدگی سیم کشی را کاهش می دهد ، در حالی که PLC از عیب یابی سریع و تشخیص سریع پشتیبانی می کند و زمان خرابی سیستم را به حداقل می رساند.

5نتیجه و ارزش ارائه شده

با پیاده سازی معماری اتوماسیون I / O Keyence PLC + RS، سیستم پاکسازی مرطوب به دست آورد:

• سازگاری بالاتر از جدا کردنکه الزامات دقت در سطح نیمه هادی را برآورده می کند

• بهبود اتوماسیون و کاهش مداخله اپراتور

• افزایش بهره وری و بهره وری تولید

• مقیاس پذیری قوی برای ارتقای فرآیند های آینده

این راه حل با موفقیت در خطوط پیش پردازش لیتوگرافی فرانت اند استفاده شده است و بازخورد بسیار مثبتی از مشتریان دریافت کرده است.