افزایش کارایی تمیز کردن وافره با ماژول های I/O از راه دور سری Decowell RB

پیشینه صنعت
در تولید نیمه هادی، وافرهای سیلیکون باید از طریق یک سری فرآیندهای دقیق مانند برش، پیسیدن لبه، پیچیدن، درمان سطح، پولیش و رشد اپیتاسیال عبور کنند.این مراحل اجتناب ناپذیری باعث آلوده شدن سطح وافره با ذرات می شودمرحله تمیز کردن وافره نقش مهمی در از بین بردن این ناخالصی ها برای اطمینان از بهره وری و قابلیت اطمینان محصولات نهایی دارد.این فرآیند نه تنها نیاز به دقت دارد بلکه ثبات و کنترل هوشمندانه را نیز برای به حداقل رساندن زیان تولید و خطرات آلودگی نیاز دارد.

خلاصه پروژه
برای پاسخگویی به خواسته های سختگیرانه تمیز کردن وافرهای مدرن، این پروژه یکPLC Omron به عنوان کنترل کننده اصلی، در ترکیب با یک سفارشیپیکربندی I/Oبا Decowellماژول های I/O از راه دور سری RB. این مجموعه شامل:

• 3 × RB-1110 اتوبوس کوپلر

• ماژول های 3×16DI

• ماژول های 3 × 16DO

• ماژول ورودی آنالوگ (AI)

• ماژول خروجی آنالوگ (AO)

این پیکربندی امکان جمع آوری داده ها و کنترل در زمان واقعی در پارامترهای تمیز کردن حیاتی، از جمله وضعیت عملیاتی تجهیزات، فشار مایع و غلظت شیمیایی را فراهم می کند.

سری دیکوول RB: جمع و جور، کارآمد و قابل اعتماد
ماژول های I/O از راه دور سری Decowell RB برای پاسخگویی به نیازهای عملکرد بالا کنترل فرآیند خودکار طراحی شده اند.فاکتور شکل بسیار نازکوطراحی دوستانه DINاجازه می دهد تا برای گسترش سریع، حتی در کابینت های الکتریکی محدود به فضا. در این برنامه، سری RB اجازه می دهدنظارت در زمان واقعی و تشخیص از راه دوراز سیستم تمیز کردن، به تکنسین کمک می کند تا ناهنجاری هایی مانند فشار ناپایدار یا دوز نادرست را بدون نیاز به بازرسی در محل شناسایی کند.

این دید در زمان واقعی در سلامت سیستم تضمین پاسخ سریع به انحرافات، به حداقل رساندن زمان توقف و کمک به حفظ عملکرد بهینه تمیز کردن در سراسر هر دسته از وافره.معماری ماژولار سری RB پشتیبانی می کندگسترش انعطاف پذیر، اجازه می دهد تا تولید کنندگان مقیاس I / O را به خطوط تولید مختلف و ارتقاء های آینده تطبیق دهند.

تاثیرات کاربرد
با حجم استفاده سالانه بیش از100،000 واحد، سری Decowell RB ثابت کرده کهقوی، مقیاس پذیر و مقرون به صرفهراه حل برای سیستم های تمیز کردن وافر هوشمند. مشتریان گزارش افزایش شفافیت فرآیند، استفاده بهتر از تجهیزات و کاهش زمان نگهداری.این ادغام همچنین از اتصال سطح بالاتر پشتیبانی می کند.، امکان ارتباط بدون مشکل با سیستم های SCADA یا MES را برای ساخت یک زیرساخت کارخانه واقعا هوشمند فراهم می کند.

نتیجه گیری
در صنایع دقیق مانند تولید نیمه هادی، سخت افزار اتوماسیون باید هم قابلیت اطمینان و هم انعطاف پذیری را ارائه دهد.راه حل I / O از راه دور سری Decowell RB نه تنها نیازهای فنی فرآیندهای تمیز کردن وافرهای پیچیده را برآورده می کند بلکه یکپارچگی سیستم را بهبود می بخشد، مقیاس پذیری و قابلیت نگهداری طولانی مدت باعث می شود که این یک انتخاب قابل اعتماد برای تولید هوشمند نسل بعدی باشد.