راه حل کنترل اتوماسیون برای تجهیزات پوشش نیمه هادی

راه حل کنترل اتوماسیون برای تجهیزات پوشش نیمه هادی

سابقه پرونده:
در صنعت نیمه هادی، ماشین های پوشش در فرآیند فوتولیتوگرافی ضروری هستند، مسئول اعمال photoresist یا سایر مواد کاربردی بر روی وافرها یا زیربناها هستند.استفاده از روش های پوشش اسپین یا اسپری، این ماشین ها فیلم های نازک یکنواخت و پایدار را تشکیل می دهند تا دقت الگوی را تضمین کنند. تجهیزات پیشرفته پوشش با کنترل ضخامت دقیق، عملکرد یکنواخت عالی،و سیستم های موقعیت مکانی با دقت بالاآنها اغلب دارای بازوهای بارگذاری / تخلیه خودکار و سیستم های کنترل بازخورد در زمان واقعی برای افزایش بهره وری تولید و اطمینان از کیفیت ثابت پوشش هستند.

راه حل:

• کنترل کننده اصلی:OMRON PLC

• روش قابل استفاده:پوشش

• پیکربندی I/O پروژه:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• مصرف سالانه:1 میلیون مجموعه

در این پروژه، مشتری یک PLC OMRON را با محصولات جزیره دریچه MTC Decowell® برای ساخت یک سیستم کنترل پنوماتیک جمع و جور و کارآمد برای تجهیزات پوشش می کند.دریچه های سولینوئید برای کنترل دقیق حرکت عمودی و افقی نوزل اسپری سیلندرها را حرکت می دهند، اطمینان از ارتفاع و موقعیت دقیق پوشش. سیلندر های اضافی بازوهای بارگیری و تخلیه خودکار را هدایت می کنند که بستر را بین پوشش دهنده و سیستم حمل کننده حمل می کنند.

این سیستم شامل ماژول های I / O در داخل جزیره شیر است که امکان اتصال آسان سنسورهای موقعیت و سوئیچ های مغناطیسی را فراهم می کند. این طراحی پیچیدگی سیم کشی را کاهش می دهد و قابلیت نگهداری را افزایش می دهد.با معماری ماژولار، این سیستم مقیاس پذیری و انعطاف پذیری عالی را برای پاسخگویی به پیکربندی های مختلف تجهیزات ارائه می دهد.

مزیت های کاربرد:

• ادغام بالا باعث کاهش سیم کشی و صرفه جویی در فضای پنل می شود

• ماژول های I/O قابل گسترش برای ارتقاء سیستم در آینده

• کنترل دقیق حرکت نوزل های اسپری و بازوهای دستی

• عملکرد پایدار و کارآمد مناسب برای تولید حجم بالا